一種具有高頻率響應(yīng)的壓阻動(dòng)態(tài)壓力傳感器由壓阻傳感元件、傳感器金屬外殼和高頻寬帶放大器組成。所述壓阻感測(cè)元件由硅壓阻感測(cè)元件和玻璃環(huán)片組成。所述硅壓阻傳感元件是通過(guò)在圓形扁平硅膜的正面依次覆蓋SiO2層和Si3N4層而形成的。惠斯通電橋是安排在正面中間的硅壓阻傳感元件和硅膜暴露在外圍,然后焊接玻璃環(huán)板,金屬反射膜上形成硅壓阻傳感元件的反面,惠斯通電橋上的應(yīng)變電阻與內(nèi)部引線帶出,另一側(cè)的玻璃戒指是固定的圓形凹面陶瓷隔離基地,將陶瓷隔離底座燒結(jié)固定在傳感器金屬外殼的壓力進(jìn)氣道上，將壓阻感測(cè)組件上的內(nèi)部導(dǎo)線引線引入傳感器內(nèi)腔的轉(zhuǎn)接板上，然后通過(guò)高頻寬帶放大器信號(hào)放大，從傳感器末端的輸出電纜引出。由于該傳感器本身具有較高的固有頻率，因此被稱(chēng)為高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器。

高頻壓力傳感器是為滿足用戶(hù)在響應(yīng)頻率、形狀結(jié)構(gòu)、工作溫度等方面的特殊要求而設(shè)計(jì)的。采用微加工技術(shù)，使集成硅膜片具有有效尺寸小、固有頻率高、可達(dá)1MHZ、彈性和力學(xué)性能優(yōu)異的特點(diǎn)。采用壓力傳感膜進(jìn)行沖洗包裝設(shè)計(jì)，完全消除空腔效應(yīng)，傳感器具有很高的頻率響應(yīng)。根據(jù)其響應(yīng)頻率特性，將其定義為高頻壓力傳感器。其綜合性能優(yōu)于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器，已成為新一代壓電動(dòng)態(tài)測(cè)試壓力傳感器。

在軍事工程、化學(xué)爆炸實(shí)驗(yàn)、石油勘探開(kāi)發(fā)和試井、材料、流體力學(xué)、土木工程、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動(dòng)力力學(xué)實(shí)驗(yàn)、水力力學(xué)、電弧燃燒實(shí)驗(yàn)等科學(xué)實(shí)驗(yàn)和現(xiàn)代儀器儀表中，對(duì)一些動(dòng)態(tài)壓力波形要求不失真測(cè)量，這就要求壓力傳感器具有較高的固有頻率、在短的上升時(shí)間和寬而優(yōu)良的響應(yīng)頻帶，以保證足夠的動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量精度。產(chǎn)品的抗光、抗干擾設(shè)計(jì)可應(yīng)用于近場(chǎng)爆轟動(dòng)態(tài)試驗(yàn)測(cè)量。動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器在美國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)和我國(guó)軍用標(biāo)準(zhǔn)爆轟動(dòng)態(tài)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)中被推薦。高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的外觀和技術(shù)參數(shù)可根據(jù)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)使用條件設(shè)計(jì)生產(chǎn)，以達(dá)到較好的動(dòng)、靜態(tài)性能。